檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "相位移技術".ckeyword (精準) and cdept.raw="機械工程系"
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本研究以相位量測的方式,針對微奈米級階級性表面進行量測,利用現有的設備建構一組改良式麥克森干涉儀,同時將光學顯微鏡與相位量測相關原理結合,並加入相位移技術的四相位法,提高整個系統的解析度。在實驗上使…